[实用新型]一种超薄薄膜电化学沉积系统有效
申请号: | 201920274025.9 | 申请日: | 2019-03-04 |
公开(公告)号: | CN210367951U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 叶颖辉 | 申请(专利权)人: | 深圳市汇美新科技有限公司 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38;C25D5/10;C25D17/12;C25D21/12 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 叶树明 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种超薄薄膜电化学沉积系统,放卷模块,用于放卷膜面;前处理模块,用于微蚀洗及清洁膜面的表面;第一沉积模块,用于对膜面的双面预镀沉积复合铜层;第二沉积模块,用于对膜面的复合铜层进行双面增厚沉积铜层;清洗模块,用于对膜面进行清洗;保护层沉积模块,用于在清洗后的膜面上沉积保护层;后处理模块,用于对膜面进行清洁、烘干、切割;收卷模块,用于收卷膜面。采用本实用新型的超薄薄膜电化学沉积系统,可以快速进行超薄薄膜的电镀加工,一次即可完成双面电镀,加工效率高,并且机构设置合理,有效节约了生产成本,提高了生产效率,质量可控,张力控制精度高,超薄薄膜的外观性能好。 | ||
搜索关键词: | 一种 超薄 薄膜 电化学 沉积 系统 | ||
【主权项】:
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