[实用新型]一种高温化学气相沉积加热系统

摘要

本实用新型公开了一种高温化学气相沉积加热系统，解决了现有加热系统无法对沉积反应桶内进行快速加热，加热系统绝缘性差，热辐射大，使用完毕后无法对加热桶进行快速散热的问题，其包括反应桶体，所述反应桶体内部安装有散热组件，反应桶体外部两侧均安装有传热板，传热板外部位于反应桶体外部位置处安装有加热层，加热层内部安装有加热线圈，反应桶体顶端安装有保温盖，本实用新型，结构紧凑，便于优化现有加热系统，使加热系统可以对加热桶内部进行快速加热，便于内部反应更加高效，增强了系统的绝缘性，防止热辐射对外界造成伤害，反应完毕后可对加热桶进行快速降温，使化学气相沉积加热系统更加完善。

主权项

1.一种高温化学气相沉积加热系统，包括反应桶体(1)，其特征在于，所述反应桶体(1)内部安装有散热组件(2)，反应桶体(1)外部两侧均安装有传热板(3)，传热板(3)外部位于反应桶体(1)外部位置处安装有加热层(4)，加热层(4)内部安装有加热线圈(5)，反应桶体(1)顶端安装有保温盖(6)，保温盖(6)顶端位于加热层(4)外部位置处安装有隔离组件(7)，隔离组件(7)外部安装有水冷层(8)，水冷层(8)底端安装有保温层(9)，反应桶体(1)内部贯穿水冷层(8)安装有废气口(10)，反应桶体(1)底端内侧贯穿保温层(9)底端安装有排气口(11)。/n