[实用新型]高精度MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 201920307708.X | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN209857909U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 苏岩 | 申请（专利权）人： | 苏州感测通信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;B81B7/02 |
| 代理公司： | 32102 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 姚姣阳 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种高精度MEMS陀螺仪，包括硅基底及两个质量块，两个所述质量块对称设置于所述硅基底上，还包括一干扰模态隔离结构，两个所述质量块均为框架结构、由质量块外框及质量块内框组合而成，两个所述质量块外框分别与所述硅基底上的锚点相连接，两个所述质量块内框借助所述干扰模态隔离结构相连接。本实用新型采用了一种组合梁式干扰模态隔离结构，将目前具有解耦框架和差分结构的MEMS陀螺仪的内框架进行了连接，从而提高了驱动模态与检测模态间的同向模态固有频率，使驱动模态与检测模态相邻，实现了隔离干扰模态的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 质量块 干扰模态 隔离结构 硅基 本实用新型 驱动模态 检测模 陀螺仪 内框 外框 差分结构 对称设置 固有频率 框架结构 组合梁式 内框架 解耦 锚点 模态 同向 隔离 | ||
【主权项】：
1.一种高精度MEMS陀螺仪，包括硅基底及两个质量块，两个所述质量块对称设置于所述硅基底上，其特征在于：还包括一干扰模态隔离结构，两个所述质量块均为框架结构、由质量块外框（1）及质量块内框（2）组合而成，两个所述质量块外框（1）分别与所述硅基底上的锚点相连接，两个所述质量块内框（2）借助所述干扰模态隔离结构相连接。/n
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