[实用新型]辅助破真空装置有效

申请号：	201920324386.X	申请日：	2019-03-14
公开（公告）号：	CN209804601U	公开（公告）日：	2019-12-17
发明（设计）人：	武群;张涛;赵宏清	申请（专利权）人：	米亚索乐装备集成(福建)有限公司
主分类号：	H01L21/66	分类号：	H01L21/66;H01L31/18
代理公司：	11429 北京中济纬天专利代理有限公司	代理人：	覃婧婵
地址：	362005 福建***	国省代码：	福建;35
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摘要：	本实用新型提供一种辅助破真空装置，包括：外筒体，外筒体的第一端部与真空装置连接，外筒体的侧壁上设有至少一个第一通气口；内筒体，紧密贴合地设置于外筒体内，内筒体的第一端部封闭并靠近外筒体的第二端部设置，内筒体的侧壁上设有至少一个第二通气口；以及，弹性件，弹性件的一端与内筒体相抵持，弹性件的另一端与外筒体相抵持，弹性件用于在真空装置内部的真空度小于内筒体内部的真空度时，带动内筒体向远离外筒体的第一端部的方向运动，使得第一通气口与第二通气口对齐，以使真空装置与外界连通。本实用新型的辅助破真空装置能够辅助真空装置的破真空，提高真空装置的破真空速度。
搜索关键词：	外筒体内筒体真空装置弹性件第一端部本实用新型破真空装置破真空通气口侧壁气口相抵辅助真空装置第二端部紧密贴合外界连通对齐体内部内筒外筒体内封闭
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【主权项】：

1.一种辅助破真空装置，其特征在于，包括：/n外筒体(1)，所述外筒体(1)的第一端部(12)与真空装置(200)连接，所述外筒体(1)的侧壁上设有至少一个第一通气口(11)；/n内筒体(2)，紧密贴合地设置于所述外筒体(1)内，所述内筒体(2)的第一端部(22)封闭并靠近所述外筒体(1)的第二端部(16)设置，所述内筒体(2)的侧壁上设有至少一个第二通气口(21)；/n以及，弹性件(3)，所述弹性件(3)的一端与所述内筒体(2)相抵持，所述弹性件(3)的另一端与所述外筒体(1)相抵持，所述弹性件(3)用于在所述真空装置(200)内部的真空度小于所述内筒体(2)内部的真空度时，带动所述内筒体(2)向远离所述外筒体(1)的第一端部(12)的方向运动，使得所述第一通气口(11)与所述第二通气口(21)对齐，以使所述真空装置(200)与外界连通。/n

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H 电学

H01 基本电气元件
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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