[实用新型]一种带有清洁装置的硅晶圆检测上料装置有效
| 申请号： | 201920331400.9 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN209740165U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 王宜 | 申请（专利权）人： | 江苏斯米克电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B08B3/02 |
| 代理公司： | 11411 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄冠华<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 214124 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有清洁装置的硅晶圆检测上料装置，包括安装台，所述安装台上端固定连接有连接架，所述连接架的侧壁上固定连接有水平设置的横框，所述横框的内侧水平设有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的两端均转动连接在横框的内壁上，所述横框的一端固定安装有第一电机，所述第一电机输出轴的末端贯穿横框并固定连接在第一螺纹杆的一端，所述第一螺纹杆上螺纹套接有第一活动块，所述第一活动块的侧壁上连接有夹持机构，所述安装台上端固定连接有固定板，所述固定板侧壁上设有清洁机构。本实用新型可在硅晶圆检测的上料过程中完成对硅晶圆的清洁，且在清洁过程中，使得喷液头平移，进而清洁更充分，提高清洁效果。 | ||
| 搜索关键词： | 横框 螺纹杆 硅晶圆 本实用新型 活动块 连接架 侧壁 电机输出轴 固定板侧壁 平移 夹持机构 清洁过程 清洁机构 清洁效果 清洁装置 上料过程 上料装置 水平设有 水平设置 转动连接 清洁 安装台 固定板 喷液头 上螺纹 检测 内壁 套接 电机 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种带有清洁装置的硅晶圆检测上料装置，包括安装台(1)，其特征在于，所述安装台(1)上端固定连接有连接架(4)，所述连接架(4)的侧壁上固定连接有水平设置的横框(6)，所述横框(6)的内侧水平设有第一螺纹杆(7)，所述第一螺纹杆(7)的两端均转动连接在横框(6)的内壁上，所述横框(6)的一端固定安装有第一电机(5)，所述第一电机(5)输出轴的末端贯穿横框(6)并固定连接在第一螺纹杆(7)的一端，所述第一螺纹杆(7)上螺纹套接有第一活动块(8)，所述第一活动块(8)的侧壁上连接有夹持机构，所述安装台(1)上端固定连接有固定板(10)，所述固定板(10)侧壁上设有清洁机构。/n
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