[实用新型]送膜辅助机构

摘要

本实用新型公开了一种送膜辅助机构，包括辅助安装座、辅助连接杆、辅助固定板、辅助升降杆、辅助升降座、辅助升降板、第一辅助导辊、以及辅助升降驱动件。辅助升降驱动件带动辅助升降板沿辅助升降杆的轴线方向做上升运动，与辅助升降杆的另一端相连的辅助升降座随着辅助升降板做同步的上升运动，进而带动设置在辅助升降座上的第一辅助导辊做上升运动，进而带动干膜上升至一定的高度，使得干膜与晶圆之间具有一定的间隙，此时卷绕的膜卷输送的干膜以高于晶圆的表面的一定距离移动，实现未使用的干膜到达晶圆的正上方，且干膜移动过程中不易触碰到晶圆，避免了干膜使得晶圆偏离贴膜位置的情况发生。

主权项

1.送膜辅助机构，其特征在于，包括辅助安装座、与所述辅助安装座相连的辅助连接杆、与所述辅助连接杆相连的辅助固定板、贯穿所述辅助安装座且与所述辅助安装座滑动连接的辅助升降杆、与所述辅助升降杆的一端相连的辅助升降座、与所述辅助升降杆的另一端相连的辅助升降板、设于所述辅助升降座的第一辅助导辊、以及设于所述辅助固定板且用于带动所述辅助升降板沿所述辅助升降杆的轴线方向运动的辅助升降驱动件。/n