[实用新型]一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置有效
| 申请号： | 201920353901.7 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN210269909U | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 吴浚瀚 | 申请（专利权）人： | 广州市本原纳米仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/12 | 分类号： | G01Q60/12 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 胡辉 |
| 地址： | 510070 广东省广州市先*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，包括物镜组件和设置在样品上方的探头装置，所述物镜组件位于探头装置上方；所述探头装置包括激光器、微悬臂探针和激光接收器；所述激光器发射的激光经过微悬臂探针的悬臂梁背面反射后被激光接收器接收。本实用新型的物镜组件完全处于探头装置上方，因此不会影响到物镜组件的物镜切换，从而实现了与常规光学显微镜的联用，并且探头装置仅包括了激光器、微悬臂探针和激光接收器，内部构造简单，且不会降低入射激光的光强和样品观测的分辨率。本实用新型作为一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置可广泛应用于扫描探针显微镜等纳米表征领域中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 扫描 探针 显微镜 激光 检测 装置 | ||
【主权项】：
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