[实用新型]一种半导体晶棒的夹持机构

摘要

本实用新型公开了一种半导体晶棒的夹持机构，该夹持机构包括工作台以及设置于工作台上的固定端夹持组件和活动端夹持组件，固定端夹持组件和活动端夹持组件均包括电机、减速机、中心轴和夹头组件，固定端夹持组件或活动端夹持组件的夹头组件设置为弹性夹头组件，弹性夹头组件包括夹紧盘以及多个平头顶针、压板和弹簧；固定端夹持组件和活动端夹持组件的中心轴中心均设置有用于安装莫氏检验棒的莫氏锥孔，两个莫氏锥孔的开孔方向相对设置。该夹持机构可实现对不同长度晶棒的夹持旋转，固定端夹持组件和活动端夹持组件的中心轴的同轴度可实现精确调整，调节精度高，并且夹头组件的设计可适应晶棒的不平整端面，可保证该夹持机构夹持晶棒的可靠性。

主权项

1.一种半导体晶棒的夹持机构，包括工作台、固定于工作台一端的固定端夹持组件以及设置于工作台另一端可相对于固定端夹持组件来回滑动的活动端夹持组件，固定端夹持组件和活动端夹持组件的相对端均设置有夹头组件，其特征在于，固定端夹持组件或活动端夹持组件的夹头组件设置为弹性夹头组件，弹性夹头组件包括夹紧盘以及多个平头顶针、压板和弹簧，所述夹紧盘用于夹紧晶棒的端面上设置有多个安装孔，压板固定于安装孔的开口处，压板上沿安装孔的轴线方向开设有通孔，所述平头顶针设置为“凸”形结构，平头顶针的凸起端穿过通孔且可在通孔内自由伸缩，平头顶针非凸起部分的径向尺寸大于通孔的孔径，弹簧的一端与安装孔的底端连接，另一端与平头顶针非凸起端的端面连接。/n