[实用新型]一种蚀刻槽体中的新型晶舟承载装置

摘要

本实用新型提供一种蚀刻槽体中的新型晶舟承载装置。所述蚀刻槽体中的新型晶舟承载装置包括：提升机构；底部承载机构，底部承载机构的两侧均通过紧固螺栓设置于所述提升机构的两侧；两个承重块，两个承重块相对的一侧分别设置于所述提升机构的两侧，两个承重块的底部分别与所述底部承载机构的顶部的两侧接触；两个限位块，两个限位块的底部分别设置于所述底部承载机构的顶部的两侧。本实用新型提供的蚀刻槽体中的新型晶舟承载装置通过底部承载机构为提升机构和铁氟龙晶舟进行支撑，其提升机构与底部承载机构之间的紧固螺栓无受力，增加了承力面积和增强承力结构，紧固螺栓无需承力，能够防止铁氟龙晶舟发生位移，夹爪在夹取时出现掉片的情况。

主权项

1.一种蚀刻槽体中的新型晶舟承载装置，其特征在于，包括：提升机构；底部承载机构，所述底部承载机构的两侧均通过紧固螺栓设置于所述提升机构的两侧；两个承重块，两个所述承重块相对的一侧分别设置于所述提升机构的两侧，两个所述承重块的底部分别与所述底部承载机构的顶部的两侧接触；两个限位块，两个所述限位块的底部分别设置于所述底部承载机构的顶部的两侧，两个所述限位块相对的一侧分别与两个所述承重块相对的一侧接触。