[实用新型]基质辅助激光解析离子源靶板运动平台有效
| 申请号： | 201920361289.8 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN209374400U | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 张彤;蔡克亚;宋家玉;李康康;郭光辉;易玲 | 申请（专利权）人： | 安图实验仪器（郑州）有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/40 | 分类号： | H01J49/40;H01J49/14 |
| 代理公司： | 郑州异开专利事务所(普通合伙) 41114 | 代理人： | 葛鹏飞 |
| 地址： | 450016 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基质辅助激光解析离子源靶板运动平台，包括驱动靶板运动的X、Y向驱动机构，X、Y向驱动机构结构相同，均包括电机以及设置在电机工作端的轴承座，电机的工作轴上固套有码盘，轴承座上设置有与码盘相匹配的读数头；工作轴通过联轴器连接有同步转动的丝杠，丝杠自设置在轴承座内的一对轴承组内圈中穿出，丝杠外端套装有带轴承套的支撑轴承；轴承组的两轴承之间贴合设置有隔圈，轴承组与联轴器之间的丝杠上设置有锁母，轴承组与支撑轴承之间的丝杠上设置有丝杠母座。本实用新型优点在于结构简单，安装及调试方便，传动精度高，对腔体内的真空环境无污染，降低噪音，改善工作环境，精确记录电机转数，实现靶板精准移动。 | ||
| 搜索关键词： | 轴承组 靶板 丝杠 轴承座 基质辅助激光解析 本实用新型 电机 运动平台 支撑轴承 工作轴 离子源 联轴器 码盘 电机转数 降低噪音 丝杠外端 贴合设置 同步转动 真空环境 读数头 丝杠母 轴承套 穿出 传动 隔圈 固套 内圈 锁母 轴承 匹配 调试 体内 驱动 移动 记录 | ||
【主权项】：
1.一种基质辅助激光解析离子源靶板运动平台，包括驱动靶板运动的X向驱动机构和Y向驱动机构，其特征在于：所述X向驱动机构和Y向驱动机构结构相同，均包括电机（1）以及设置在所述电机（1）工作端的轴承座（2），在电机（1）的工作轴（3）上固套有码盘（4），在所述轴承座（2）上设置有与所述码盘（4）相匹配的读数头（5）；所述工作轴（3）通过联轴器（6）连接有同步转动的丝杠（7），所述丝杠（7）自设置在所述轴承座（2）内的一对轴承组（8）内圈中穿出，丝杠（7）外端套装有带轴承套（9）的支撑轴承（10）；所述轴承组（8）的两轴承之间贴合设置有隔圈（11），在轴承组（8）与联轴器（6）之间的丝杠（7）上设置有锁母（12），在轴承组（8）与支撑轴承（10）之间的丝杠（7）上设置有丝杠母座（13）。
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