[实用新型]一种共用驱动轴的多级真空泵有效
申请号: | 201920363030.7 | 申请日: | 2019-03-20 |
公开(公告)号: | CN209818301U | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 潇然 | 申请(专利权)人: | 上海伊莱茨真空技术有限公司;潇然;苏州伊莱茨流体装备有限公司 |
主分类号: | F04C23/02 | 分类号: | F04C23/02;F04C25/02;F04C29/00 |
代理公司: | 11301 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 郑玉洁 |
地址: | 201799 上海市青浦区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种共用驱动轴的多级真空泵,包括多个真空驱动腔串联或并联连接形成多级真空驱动腔,每个独立的真空驱动腔内设置至少一转子,第一级真空驱动腔的入口直通大气,其中至少有两个真空驱动腔以一共用驱动轴驱动,其中该共用驱动轴包括至少两个分离驱动轴。所述多个真空驱动腔组成的真空泵可以是采用共轴的多级泵,例如多级罗茨泵,采用单一电机驱动,也可以是至少一个非共轴真空驱动腔均采用独立或共享的驱动电机驱动。由于采用分段式驱动轴,每个真空腔内的一对叶轮及轴的热胀冷缩不会被传递到轴向相邻的另外的真空腔室,也不会受到轴向相邻腔室热胀冷缩的影响。 | ||
搜索关键词: | 真空驱动 共用驱动轴 热胀冷缩 轴向相邻 驱动轴 驱动 叶轮 本实用新型 多级真空泵 并联连接 单一电机 驱动电机 真空腔室 转子 第一级 多级泵 非共轴 分段式 罗茨泵 真空泵 真空腔 共轴 腔内 腔室 串联 传递 共享 | ||
【主权项】:
1.一种共用驱动轴的多级真空泵,包括多个独立的真空驱动腔,所述多个真空驱动腔串联或并联连接形成多级真空驱动腔,每个独立的真空驱动腔内设置至少一转子,其特征在于,第一级真空驱动腔的入口直通大气或前级装置;/n其中至少有两个真空驱动腔以一共用驱动轴驱动,其中该共用驱动轴包括至少两个分离驱动轴。/n
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