[实用新型]一种纳米级的气流传感器有效
| 申请号： | 201920367256.4 | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN209707539U | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 张忠山;李俊杰;顾长志;潘如豪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08;G01P13/02 |
| 代理公司： | 11280 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭广迅<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种纳米级的气流传感器，包括：4×N个气流传感单元(6)，其中，N为大于或等于1的整数；所述气流传感单元(6)包括：支撑衬底(2)；承载部(3)，形成在所述支撑衬底(2)上；压阻薄膜(5)，形成在所述承载部(3)上；电极(4)，形成在所述压阻薄膜(5)上；所述承载部(3)、压阻薄膜(5)和电极(4)一起形成悬空的部分；所述悬空的部分具有自由的三边以及一个折边；所述电极(4)垂直于所述悬空的部分的折边平行地设置；所述气流传感单元(6)以等分圆周的方式对称分布。本实用新型提供的纳米级的气流传感器的高灵敏度；每个纳米级的气流传感单元曲向不同，感测气流灵敏度不同，能分辨气流方向。 | ||
| 搜索关键词： | 传感单元 压阻薄膜 电极 纳米级 本实用新型 气流传感器 悬空 承载 衬底 折边 等分圆周 对称分布 高灵敏度 灵敏度 传感 感测 支撑 分辨 平行 垂直 自由 | ||
【主权项】：
1.一种纳米级的气流传感器(1)，包括：4×N个气流传感单元(6)，其中，N为大于或等于1的整数；/n所述气流传感单元(6)包括：/n支撑衬底(2)；/n承载部(3)，形成在所述支撑衬底(2)上；/n压阻薄膜(5)，形成在所述承载部(3)上；/n电极(4)，形成在所述压阻薄膜(5)上；/n所述承载部(3)、压阻薄膜(5)和电极(4)一起形成悬空的部分；所述悬空的部分具有自由的三边以及一个折边；/n所述电极(4)垂直于所述悬空的部分的折边平行地设置；/n所述气流传感单元(6)以等分圆周的方式对称分布。/n
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