[实用新型]真空磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201920376172.7 | 申请日： | 2019-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN209798092U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 董旺鹏 | 申请（专利权）人： | 厦门正顺兴钛金科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空室，所述真空室上设置有门体，所述真空室上开设有抽气口，所述真空室外设置有与所述抽气口连通的抽气系统，所述门体转动设置在所述真空室上，所述真空室上设置有驱动所述门体从所述真空室上打开的驱动件，所述驱动件包括固定设置在所述真空室上的气缸、以及设置于所述气缸活塞杆上的推动板，所述推动板与所述门体朝向所述真空室的侧壁抵紧。本实用新型具通过设置驱动件，当镀膜工作完成需要将基片取出的时候，工作人员通过控制气缸，即可将门体从真空室推动开来，继而方便将门体打开。当真空室内的真空度不够高时，关闭高真空阀门并停止油扩散泵工作，从而能够保护设备。 | ||
| 搜索关键词： | 真空室 驱动件 门体 本实用新型 抽气口 推动板 真空磁控溅射镀膜机 高真空阀门 气缸活塞杆 保护设备 抽气系统 固定设置 控制气缸 室外设置 油扩散泵 转动设置 侧壁 抵紧 镀膜 气缸 连通 取出 室内 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空室(1)，所述真空室(1)上设置有门体(10)，所述真空室(1)上开设有抽气口(2)，所述真空室(1)外设置有与所述抽气口(2)连通的抽气系统(3)，其特征在于：所述门体(10)转动设置在所述真空室(1)上，所述真空室(1)上设置有驱动所述门体(10)从所述真空室(1)上打开的驱动件(8)，所述驱动件(8)包括固定设置在所述真空室(1)上的气缸(81)、以及设置于所述气缸(81)活塞杆上的推动板(82)，所述推动板(82)与所述门体(10)朝向所述真空室(1)的侧壁抵紧。/n
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