[实用新型]一种电子气体尾气的回收装置有效
| 申请号： | 201920377383.2 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN210097322U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 宋兴桥 | 申请（专利权）人： | 天津中科拓新科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;B01D53/14;B01D5/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 300350 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电子气体尾气的回收装置，包括吸收塔，脱轻塔、脱重塔、预处理塔、吸收剂回收塔，一级冷阱和二级冷阱。将电子气体尾气送入吸收塔下部，吸收剂由塔顶进入，塔顶采出轻杂质，塔底物料作为原料输送至脱轻塔；脱轻塔塔顶采出轻组分，塔釜一部分作为吸收剂返回吸收塔顶部，一部分作为原料输送至脱重塔；脱重塔塔顶采出电子气体产品，塔釜物料进入吸收剂回收塔；吸收塔顶部气体先进入预处理塔脱除部分重组分，预处理塔塔顶采出稀有气体依次进人一级冷阱、二级冷阱，冷凝液返回预处理塔，未经冷凝的气体即为高纯度的稀有气体；脱重塔底部物料进入吸收剂回收塔，塔顶采出轻杂质，塔底采出重杂质，底部侧线采出吸收剂返回吸收塔顶部。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 气体 尾气 回收 装置 | ||
【主权项】：
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