[实用新型]晶圆清洗用有机溶剂在线加热器有效
| 申请号： | 201920384248.0 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN209819872U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王静强;周志刚 | 申请（专利权）人： | 昆山基侑电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F24H1/20 | 分类号： | F24H1/20;F24H9/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种包括加热内桶、隔热外罩和外丝式加热器的晶圆清洗用有机溶剂在线加热器，加热内桶和隔热外罩由不锈钢材质焊接而成，隔热外罩套装在所述加热内容的外部，并在与加热内筒之间的缝隙内填充隔热棉；外丝式加热器用于为加热内桶中的有机溶剂加热，平行设置于所述加热内筒中。本实用新型利用外丝式加热器对有机溶剂加热，并设置有密封包覆加热丝的罩管，避免加热丝直接接触化学品，防止加热器老化，同时也防止避免污染有机溶剂，保障有机溶剂的洁净度。同时，在加热内桶外套装了隔热外罩，并在两者之间填充隔热棉，防止加热温度透出伤人，减少热量损失，提高了加热速率。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 有机溶剂 加热器 隔热外罩 内桶 外丝 本实用新型 加热内筒 隔热棉 加热丝 填充 不锈钢材质 在线加热器 避免污染 晶圆清洗 密封包覆 平行设置 热量损失 化学品 洁净度 罩管 焊接 老化 外部 | ||
【主权项】：
1.晶圆清洗用有机溶剂在线加热器，其特征在于，包括：/n加热内桶，由不锈钢材质焊接而成，其具有进液口和出液口；/n隔热外罩，由不锈钢材质焊接而成，其套装在所述加热内桶的外部，并在与加热内桶之间的缝隙内填充隔热棉；/n外丝式加热器，用于为所述加热内桶中的有机溶剂加热，平行设置于所述加热内桶中，其连接部位于所述隔热外罩的外部；/n不锈钢材质的罩管，其密封包覆在所述外丝式加热器的加热丝外部以阻隔加热丝接触有机溶剂；/n外丝式K型热电偶，用于监测所述加热内桶中的有机溶剂的温度，其安装于所述加热内桶中；/n不锈钢材质的罩壳，其密封包覆在外丝式K型热电偶的外部以阻隔K型热电偶接触有机溶剂。/n
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