[实用新型]一种适用于激光器放电腔的钝化装置有效
| 申请号： | 201920387883.4 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN209860343U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 沙鹏飞;杨军红;熊光亮;贺跃坡;韩晓泉;宋兴亮;陈刚;冯泽斌;丁金滨;刘斌;辛茗 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/03 | 分类号： | H01S3/03;H01S3/036 |
| 代理公司： | 44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种适用于激光器放电腔的钝化装置，包括：真空烘烤箱、显控单元、真空泵、气体供给单元、气体分析仪和卤素过滤器，待钝化的放电腔置于该真空烘烤箱中，使用该装置对放电腔钝化，能够定量评价钝化过程、避免放电腔材料放气对激光器性能造成的恶劣影响以及降低钝化成本。且结构简单，容易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 放电腔 钝化 真空烘烤 激光器放电腔 气体供给单元 过滤器 本实用新型 气体分析仪 材料放气 定量评价 钝化过程 钝化装置 恶劣影响 显控单元 激光器 真空泵 箱中 | ||
【主权项】：
1.一种适用于激光器放电腔的钝化装置，其特征在于，包括：/n真空烘烤箱，待钝化的放电腔置于所述真空烘烤箱中；/n显控单元，用于对所述真空烘烤箱和所述放电腔的温度及压力进行控制和显示；/n真空泵，用于对所述放电腔和所述真空烘烤箱进行抽真空；/n气体供给单元，用于向所述放电腔提供钝化气体。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京科益虹源光电技术有限公司，未经北京科益虹源光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920387883.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种激光器镜头防护结构
- 下一篇：一种用于准分子激光器的双路脉冲触发装置
