[实用新型]一种微环集成的阵列波导光栅波分复用器

摘要

本实用新型涉及一种微环集成的阵列波导光栅波分复用器，属于半导体光信号传输技术领域。该微环集成的阵列波导光栅波分复用器，从下至上包括硅衬底、隔离层、波导层、上包层、加热电极和电极引线，所述波导层包括阵列波导光栅、若干个传输波导和若干个微环谐振滤波器，阵列波导光栅中设有若干个输出波导，每个输出波导均通过一个传输波导连接一个微环谐振滤波器，阵列波导光栅中若干个输出波导依次通过若干个传输波导连接若干个微环谐振滤波器组成微环集成的阵列波导光栅波分复用器。本实用新型不但能够通过AWG进行一次滤波、微环谐振滤波器进行二次滤波得到优异的串扰特性，同时确保器件的总损耗与单个AWG相当。