[实用新型]一种用于碳化硅晶圆测试的载物台

摘要

本实用新型公开了一种用于碳化硅晶圆测试的载物台，包括载物台台面、定距杆、定距杆滑道、定位槽、转轴和基座；载物台台面上设置有多个同心圆，定距杆配有固定螺丝，定距杆可在对应的定距杆滑道上滑动，对碳化硅晶圆进行定位，定距杆滑道上标有刻度；所述定位槽刻有多条平行线段，用于放置、夹取碳化硅晶圆，同时对碳化硅晶圆的定位边进行定位；转轴顶部与载物台台面背面中心连接，通过电机驱动载物台台面升降和旋转，转轴底部与基座连接。本实用新型能够准确的对SiC晶圆进行定位，避免因手动放片导致的位置误差，有助于提高SiC晶圆测试的准确性。

主权项

1.一种用于碳化硅晶圆测试的载物台，其特征在于，包括载物台台面(1)、定距杆(2)、定距杆滑道(3)、定位槽(4)、转轴(6)和基座(7)；载物台台面(1)上设置有多个同心圆，定距杆(2)配有固定螺丝(5)，定距杆可在对应的定距杆滑道(3)上滑动，对碳化硅晶圆进行定位，定距杆滑道(3)上标有刻度；所述定位槽(4)刻有多条平行线段；转轴(6)顶部与载物台台面(1)背面中心连接，通过电机驱动载物台台面(1)升降和旋转，转轴(6)底部与基座(7)连接。