[实用新型]一种紧凑高效异型件超厚膜层设备有效
| 申请号： | 201920402948.8 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN210193989U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 张佳 | 申请（专利权）人： | 北京辰融科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100873 北京市海淀区中*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种紧凑高效异型件超厚膜层设备，包括真空室壳体，所述真空室壳体上端固定焊接有第一分子泵法兰接口，所述真空室壳体的前端右侧和后侧左侧均固定焊接有金属离子注入法兰接口，所述真空室壳体的前端中部固定焊接有样品导入法兰接口，所述真空室壳体的前侧左下部和右下部均焊接有磁过滤沉积法兰接口，所述真空室壳体的下端中部焊接有第二分子泵法兰接口，所述真空室壳体的后端中部焊接有加热管法兰接口，所述真空室壳体的左侧上部固定连接有自动观察窗。该紧凑高效异型件超厚膜层设备，制备高质量混合层以及过渡层，使涂层与基底结合良好，有效降低类金刚石膜的内应力，提高整体涂层质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紧凑 高效 异型 件超厚膜层 设备 | ||
【主权项】：
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