[实用新型]一种新型真空光学玻璃镀膜设备

摘要

本实用新型提供了一种新型真空光学玻璃镀膜设备，涉及玻璃镀膜技术领域，包括真空箱，真空箱外部设有真空泵，真空箱内设有蒸发机构、夹持机构，蒸发机构包括两个电极、加热丝，真空箱底部安装有导轨，导轨上滑动安装有滑座，两个电极均固定安装于滑座上；夹持机构包括气缸、安装基板，气缸固定于真空箱顶部，安装基板固定于伸缩杆底端，安装基板底部两侧均设有安装槽，各个安装槽内均固定安装有伸缩套，各个伸缩套外露于安装槽的一端设有夹板，各个伸缩套上均套设有弹簧；本实用新型通过调整加热蒸发源的水平位置以及调整玻璃基板的竖直位置，有利于调节玻璃基板与加热蒸发源之间的最佳距离，使得镀膜的效果好效率高。

主权项

1.一种新型真空光学玻璃镀膜设备，其特征在于：/n包括真空箱(100)，所述真空箱(100)外部设有真空泵(200)，所述真空泵(200)通过管道与所述真空箱(100)内腔相连通，所述真空箱(100)内固定安装有真空计(300)，所述真空箱(100)内设有蒸发机构(400)、夹持机构(500)，所述蒸发机构(400)包括两个电极(410)以及与两个所述电极(410)相连接的用于固定并蒸发蒸料的加热丝(420)，所述真空箱(100)底部安装有导轨(600)，所述导轨(600)上滑动安装有滑座(610)，所述真空箱(100)外部固定安装有用于驱动所述滑座(610)沿所述导轨(600)长度方向滑动的驱动电机，两个所述电极(410)均固定安装于所述滑座(610)上，两个所述电极(410)均通过导线与外部电源导电连接；/n所述夹持机构(500)包括气缸(510)、安装基板(520)，所述气缸(510)固定于所述真空箱(100)顶部，所述气缸(510)的伸缩杆(511)竖直向下延伸，所述安装基板(520)固定于所述伸缩杆(511)底端，所述安装基板(520)底部两侧均设有多个开口朝下的安装槽(521)，同一侧的所述安装槽(521)沿所述导轨(600)的长度方向分布于所述安装基板(520)底部，不同两侧的所述安装槽(521)成对设置，各个所述安装槽(521)内均固定安装有伸缩套(530)，各个所述伸缩套(530)一端固定于所述安装槽(521)底部、且各个所述伸缩套(530)另一端固定安装有夹板(540)，各个所述夹板(540)顶部均抵合于所述安装基板(520)底部，各个所述伸缩套(530)上均套设有弹簧(550)，所述弹簧(550)一端固定于所述安装槽(521)底部、且另一端固定于所述夹板(540)顶部。/n