[实用新型]一种磁材镀膜装置的旋转靶材

摘要

本实用新型涉及磁控溅射靶材技术领域，且公开了一种磁材镀膜装置的旋转靶材，包括第一靶材，第一靶材的右侧固定连接有第二靶材，第二靶材的右侧固定连接有第三靶材，第一靶材、第二靶材和第三靶材的底部活动连接有基座，基座顶部的两侧均开设有第一长槽，两个第一长槽内部的一侧均活动连接有L形板，L形板的数量为四个，且两个L形板为一组，两个L形板的底端均通过第一长槽活动套装于基座的内部。该磁材镀膜装置的旋转靶材，通过第一靶材、第二靶材和第三靶材之间的配合设置，同时通过靶材之间的四十五度斜角拼接技术，能够有效防止镀膜过程时出现整条缝隙没有靶材的现象，能够有效避免靶材提前损耗，从而提高靶材的利用率。

主权项

1.一种磁材镀膜装置的旋转靶材，包括第一靶材(1)，其特征在于：所述第一靶材(1)的右侧固定连接有第二靶材(2)，所述第二靶材(2)的右侧固定连接有第三靶材(3)，所述第一靶材(1)、第二靶材(2)和第三靶材(3)的底部活动连接有基座(4)，所述基座(4)顶部的两侧均开设有第一长槽(5)，两个所述第一长槽(5)内部的一侧均活动连接有L形板(6)，所述L形板(6)的数量为四个，且两个L形板(6)为一组，两个所述L形板(6)的底端均通过第一长槽(5)活动套装于基座(4)的内部，所述L形板(6)的顶端延伸至第一靶材(1)的内部，两个所述L形板(6)的相邻两侧通过第一弹簧(7)的两端固定连接，所述第一弹簧(7)的数量为两个，所述L形板(6)顶端的一侧活动套装有支撑板(8)，所述支撑板(8)的右端延伸至另一个L形板(6)的内部，所述支撑板(8)的数量为两个，所述L形板(6)底端的正面固定安装有调节块(9)，所述调节块(9)的正面延伸至基座(4)的外部，所述基座(4)的内部开设有位于第一长槽(5)下方的第二长槽(10)，所述第二长槽(10)内部的一侧固定安装有第二弹簧(11)，所述第二弹簧(11)的顶端固定连接有活动板(12)，所述活动板(12)的顶端延伸至L形板(6)的内部，所述活动板(12)的底端通过第二长槽(10)活动套装于基座(4)的内部，所述活动板(12)的正面固定安装有圆柱块(13)，所述圆柱块(13)的正面延伸至基座(4)的外部。/n