[实用新型]一种平面靶材有效
| 申请号： | 201920408498.3 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN209741263U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 沈登涛;张佳衲;曾一鑫 | 申请（专利权）人： | 信元光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 廖苑滨<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 516600 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种平面靶材，包括背板和绑定于所述背板上的靶材组，所述背板设有位于中部的凸起部和两侧的平坦部，所述靶材组包括设于所述凸起部的第一子靶材和设于所述平坦部上的第二子靶材；所述第一子靶材和第二子靶材的上表面保持平齐。本实用新型提供的平面靶材通过设置具有凸起部和平坦部的背板，从而在使得第一子靶材和第二子靶材的上表面平齐的情况下，第一子靶材的厚度小于第二子靶材的厚度，由于位于两侧的第二子靶材的消耗快，中间的第一子靶材消耗慢，因此可有有效保证第一子靶材和第二子靶材消耗完毕的时间的匹配，具有较好的一致性，从而避免了靶材浪费，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 背板 凸起部 本实用新型 平面靶材 平坦部 上表面 平齐 消耗 坦部 生产成本 匹配 保证 | ||
【主权项】：
1.一种平面靶材，其特征在于，包括背板和绑定于所述背板上的靶材组；所述背板设有位于中部的凸起部和两侧的平坦部，所述靶材组包括设于所述凸起部的第一子靶材和设于所述平坦部上的第二子靶材；所述第一子靶材和第二子靶材的上表面保持平齐。/n
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