[实用新型]一种自适应调节进气转接结构

摘要

本实用新型涉及化学气相沉积设备领域，公开了一种自适应调节进气转接结构，包括：开设在腔体门上的台阶孔；配合设置在台阶孔内的进气动模块，进气动模块上具有大圆孔和小圆孔；固定在腔体门上用于封闭台阶孔的压板，压板上设有板孔、与布气机构相连的气体管路，气体管路通过板孔与台阶孔相通；被压板压制在进气动模块上的弹簧；设于腔体本体上可与小圆孔连通的进气口；密封压板与腔体门的第一密封圈；密封进气动模块与腔体门的第二密封圈；在腔体门关闭后、密封进气动模块与腔体本体的第三密封圈。通过上述方式，本实用新型能够使多处密封不冲突，保证各处的密封效果，基本消除了因内部密封不良造成腔体内漏气而影响成膜均匀性的问题。

主权项

1.一种自适应调节进气转接结构，其特征在于，包括：/n台阶孔，所述台阶孔开设在腔体门上；所述台阶孔包括通向所述腔体门外侧的大孔和通向所述腔体门内侧的小孔，所述大孔的内径大于所述小孔的内径，所述大孔与所述小孔之间形成内环形面；/n进气动模块，所述进气动模块配合设置在所述台阶孔内，所述进气动模块包括与所述大孔相配合的大圆柱部、以及与所述小孔相配合的小圆柱部，所述大圆柱部与所述小圆柱部之间形成外环形面；所述进气动模块上大圆柱部所在的端部开有大圆孔，所述进气动模块上小圆柱部所在的端部开有小圆孔，所述小圆孔的内径小于所述大圆孔的内径，所述小圆孔与所述大圆孔相通；/n压板，所述压板固定在所述腔体门的外侧壁上，所述压板封闭所述台阶孔；所述压板上设有与所述台阶孔相通的板孔、以及与所述腔体门上的布气机构相连的气体管路，所述气体管路通过所述板孔与所述台阶孔相通；/n弹簧，所述弹簧被所述压板压制在所述进气动模块上；在所述弹簧的作用下，所述外环形面抵在所述内环形面上，所述进气动模块上小圆柱部的端部凸出于所述腔体门；/n进气口，所述进气口设置在腔体本体上，所述进气口的一端通向所述腔体本体的外部，所述进气口的另一端与所述小圆孔相对；当腔体门关闭后，所述进气口与所述小圆孔连通；/n第一密封圈，所述第一密封圈密封所述压板与所述腔体门；/n第二密封圈，所述第二密封圈密封所述进气动模块与所述腔体门；/n第三密封圈，所述第三密封圈在腔体门关闭后、密封所述进气动模块与所述腔体本体。/n