[实用新型]一种匀胶机样品托盘有效
| 申请号： | 201920412160.5 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN209849212U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 翟浩;王岩;罗帅;季海铭 | 申请（专利权）人： | 江苏华兴激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02 |
| 代理公司： | 42228 武汉今天智汇专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 邓寅杰 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种匀胶机样品托盘，其不同之处在于：其包括上部的托盘腔体和下部的中空柱体，所述托盘腔体顶部中央位置设有圆柱形凸起结构的承片台，所述承片台用于放置待匀胶基片，承片台中心位置设有真空吸孔，所述真空吸孔向下贯穿托盘腔体，并与中空柱体的空腔部分相连通；所述中空柱体下部柱面上设有用于固定的固定凹槽。本实用新型可兼容各种碎片形式基片，吸附牢固。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 中空柱体 承片台 本实用新型 真空吸孔 腔体 半导体技术领域 圆柱形凸起 固定凹槽 腔体顶部 碎片形式 向下贯穿 样品托盘 固定的 匀胶机 空腔 吸附 匀胶 兼容 | ||
【主权项】：
1.一种匀胶机样品托盘，其特征在于：其包括上部的托盘腔体和下部的中空柱体，所述托盘腔体顶部中央位置设有圆柱形凸起结构的承片台，所述承片台用于放置待匀胶基片，承片台中心位置设有真空吸孔，所述真空吸孔向下贯穿托盘腔体，并与中空柱体的空腔部分相连通；所述中空柱体下部柱面上设有用于固定的固定凹槽。/n
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