[实用新型]一种大尺寸构件物理气相沉积喷嘴有效
| 申请号： | 201920413933.1 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN209816258U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 李仕诚 | 申请（专利权）人： | 李仕诚 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 52116 贵阳易博皓专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张浩宇 |
| 地址： | 200431 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大尺寸构件物理气相沉积喷嘴，它由入口段（1）与喷嘴座（2）构成，喷嘴座（2）由分配层（3）、第一空腔（4）、分配板（5）、第二空腔（6）和出口段（7）组成，分配层（3）由多块隔板（8）构成，隔板（8）的一端汇聚在入口段（1）与喷嘴座（2）的连接处，隔板（8）的另一端向外发散；在分配板（5）上开有若干小孔（9），分配板（5）置于第一空腔（4）和第二空腔（6）之间；出口段（7）为长窄的狭缝。本实用新型可以达到沉积流体均匀化的效果，从而增加均匀镀膜成功率，减少工业耗材，在大尺寸构件真空镀膜的过程中可以起到均匀化及提高喷射效率的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 隔板 分配板 喷嘴座 本实用新型 大尺寸构件 第二空腔 第一空腔 出口段 分配层 均匀化 入口段 物理气相沉积 均匀镀膜 真空镀膜 喷嘴 发散 多块 耗材 流体 狭缝 小孔 沉积 成功率 喷射 汇聚 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸构件物理气相沉积喷嘴，由入口段（1）与喷嘴座（2）构成，其特征在于：所述的喷嘴座（2）由分配层（3）、第一空腔（4）、分配板（5）、第二空腔（6）和出口段（7）组成，所述的分配层（3）由多块隔板（8）构成，隔板（8）的一端汇聚在入口段（1）与喷嘴座（2）的连接处，隔板（8）的另一端向外发散；所述的分配板（5）形状为长方体，在分配板（5）上开有小孔（9），分配板（5）置于第一空腔（4）和第二空腔（6）之间；所述的出口段（7）为长窄的狭缝，出口段（7）位于第二空腔（6）的下方。/n
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