[实用新型]光阻喷嘴装置有效
| 申请号： | 201920414839.8 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN209433178U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 李明欣;张祥平;古哲安;黄志凯;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/42;B05B9/03;B05B15/55 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光阻喷嘴装置，所述光阻喷嘴装置包括：喷嘴，通过所述喷嘴向晶圆喷涂光阻溶液；供料结构，所述供料结构包括供料控制阀，所述供料结构与所述喷嘴相连接，通过所述供料结构为所述喷嘴提供所述光阻溶液；清洗结构，所述清洗结构包括清洗控制阀，通过所述清洗结构为所述喷嘴提供清洗溶液。本实用新型的光阻喷嘴装置，通过清洗结构，可去除位于所述喷嘴中的光阻溶液及光阻溶液的凝结物，从而可提高光阻喷涂均匀性、减少喷涂不良，以减少rework，降低成本，提高成品率；且通过回吸结构的回吸及移动式光阻喷嘴装置，可进一步的提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 供料 光阻喷嘴 光阻溶液 清洗结构 本实用新型 回吸 喷涂 清洗控制阀 产品良率 喷涂均匀 喷嘴装置 清洗溶液 移动式光 成品率 可去除 控制阀 凝结物 光阻 晶圆 | ||
【主权项】：
1.一种光阻喷嘴装置，其特征在于，所述光阻喷嘴装置包括：喷嘴，通过所述喷嘴向晶圆喷涂光阻溶液；供料结构，所述供料结构包括供料控制阀，所述供料结构与所述喷嘴相连接，通过所述供料结构为所述喷嘴提供所述光阻溶液；清洗结构，所述清洗结构包括清洗控制阀，通过所述清洗结构为所述喷嘴提供清洗溶液。
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