[实用新型]一种硅片清洗机快速烘干冷却装置有效

专利信息
申请号: 201920416990.5 申请日: 2019-03-29
公开(公告)号: CN209910334U 公开(公告)日: 2020-01-07
发明(设计)人: 郭岂宏;李波;刘宝华;任欢欢;梁玲;杨雪;任崇荣 申请(专利权)人: 山西潞安太阳能科技有限责任公司
主分类号: F26B15/18 分类号: F26B15/18;F26B23/00;F26B25/02;F25D31/00
代理公司: 14101 太原市科瑞达专利代理有限公司 代理人: 李富元
地址: 046000 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 实用新型涉及烘干领域。一种硅片快速烘干冷却装置,清洗花篮通过第一传送带(1)进入该快速烘干冷却装置(8),清洗花篮经过烘干冷却装置(8)后进入下料台(9),该快速烘干冷却装置为一个长方体中空通道,其底部有两条衔接的第二传送带(6)和第三传送带构成(10)构成,该快速烘干冷却装置顶部、前部、后部为密封钢板,该快速烘干冷却装置出口侧敞口。本实用新型能够对清洗后的硅片快速烘干和冷却。
搜索关键词: 快速烘干冷却 传送带 清洗 本实用新型 硅片 花篮 烘干冷却 快速烘干 密封钢板 中空通道 装置出口 装置顶部 下料台 烘干 敞口 前部 冷却 衔接
【主权项】:
1.一种硅片清洗机快速烘干冷却装置,清洗花篮通过第一传送带(1)进入该快速烘干冷却装置(8),清洗花篮经过快速烘干冷却装置(8)后进入下料台(9),其特征在于:该快速烘干冷却装置为一个长方体中空通道,其底部有两条衔接的第二传送带(6)和第三传送带(10)构成,该快速烘干冷却装置顶部、前部、后部为密封钢板,该快速烘干冷却装置出口侧敞口,该快速烘干冷却装置进口侧安装有自动门和激光感应装置(3),第二传送带(6)和第三传送带(10)构成为链带传动,第二传送带(6)的链带中央安装有加热装置(7),第三传送带(10)的链带中央安装有冷风机(11)。/n
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