[实用新型]一种平板式PECVD设备反应腔室特气耦合输送装置

摘要

一种平板式PECVD设备反应腔室特气耦合输送装置，包括位于反应腔室上盖上的上送气座、位于反应腔室内的下送气座、以及位于上送气座和下送气座之间的过渡座，上送气座上设有多个上送气接头，过渡座上设有多个过渡通道，下送气座上设有多个下送气接头，各上送气接头下端与各所述过渡通道的上端一一对应布置，各下送气接头上端一一对应地伸入各所述过渡通道的下端，过渡座上端于各所述过渡通道外周分别设有第一密封圈，过渡座上端边缘设有包括所有第一密封圈在内的第二密封圈。本实用新型可将气体从固定不动的下反应腔室安全地引入到铰链式翻盖结构的活动上盖的喷气口，本实用新型具有结构简单、可靠性好、不易出现气体泄漏等优点。

主权项

1.一种平板式PECVD设备反应腔室特气耦合输送装置，其特征在于：包括位于反应腔室上盖上的上送气座(1)、位于反应腔室内的下送气座(2)、以及位于上送气座(1)和下送气座(2)之间的过渡座(3)，所述上送气座(1)上设有多个上送气接头(11)，所述过渡座(3)上设有多个过渡通道(31)，所述下送气座(2)上设有多个下送气接头(21)，各所述上送气接头(11)下端与各所述过渡通道(31)的上端一一对应布置，各所述下送气接头(21)上端一一对应地伸入各所述过渡通道(31)的下端，所述过渡座(3)上端于各所述过渡通道(31)外周分别设有第一密封圈(33)，过渡座(3)上端边缘设有包括所有第一密封圈(33)在内的第二密封圈(32)。/n