[实用新型]一种MEMS皮拉尼真空计有效
| 申请号： | 201920430935.1 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN209878208U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 刘烨露;钟榴;刘海花;夏烨 | 申请（专利权）人： | 上海圭革智能传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/12 | 分类号： | G01L21/12;B81B7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201821 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS皮拉尼真空计，包括衬底和悬置结构，衬底具有凹槽，悬置结构设于凹槽的上方；悬置结构包括平台、第一电阻元件和悬臂梁，平台通过悬臂梁与衬底相连，第一电阻元件设置于平台远离凹槽的一侧，第一电阻元件为面内回转结构分布；第一电阻元件的第一端从悬臂梁上引出电极相连，第一电阻元件的第二端从悬臂梁上引出电极相连；衬底的顶面还设有第二电阻元件，第二电阻元件环绕悬置结构设置。该实用新型皮拉尼真空计利用第二电阻件元件消除第一电阻元件的真空度测量误差，节约成本，提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻元件 悬置结构 悬臂梁 衬底 引出电极 真空计 本实用新型 内回转结构 真空度测量 第一端 电阻件 顶面 测量 环绕 节约 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS皮拉尼真空计，其特征在于，包括衬底和悬置结构，所述衬底具有凹槽，所述悬置结构设于所述凹槽的上方；/n所述悬置结构包括平台、第一电阻元件和悬臂梁，所述平台通过所述悬臂梁与所述衬底相连，所述第一电阻元件设置于所述平台远离所述凹槽的一侧，所述第一电阻元件为面内回转结构分布；/n所述衬底的顶面设有第一电极、第二电极和第三电极，所述第一电阻元件的第一端从所述悬臂梁上引出，并与所述第一电极相连，所述第一电阻元件的第二端从所述悬臂梁上引出，并与所述第二电极相连；其中，所述顶面为靠近所述凹槽开口的外周面；/n所述衬底的顶面还设有第二电阻元件，所述第二电阻元件环绕所述悬置结构设置，所述第二电阻元件的一端与所述第一电极相连，所述第二电阻元件的另一端与所述第三电极相连。/n
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