[实用新型]惯性传感器有效
| 申请号： | 201920437611.0 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN210222061U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 汪建平;邓登峰 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;李向英 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种惯性传感器，包括：衬底；第一可动质量块，位于衬底上方；第二可动质量块，位于第一可动质量块上方；以及设置于第一可动质量块上的检测电极，该检测电极与第二可动质量块形成检测电容，在外界出现加速度时检测电容的电容变化差值是相同面积下的单层可动质量块的惯性传感器的电容变化差值的两倍，在不增加惯性传感器的面积的同时提高了惯性传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 | ||
【主权项】：
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