[实用新型]一种MOCVD机台尾气回收装置有效
| 申请号： | 201920444876.3 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN209934282U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 邓钢钟;杨胜飞;陈呈杰;陈险峰;张家豪 | 申请（专利权）人： | 安徽三安气体有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D46/42;B01D50/00;F28F19/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体制造领域，尤其涉及一种MOCVD机台尾气回收装置，本实用新型在过滤器机组与换热器机组之间设置有一MO源回收装置，不仅可以对MO源回收利用，还能有效解决系统运行时出现的对换热器机组以及管道的堵塞问题，同时提高氨水回收系统的运行效率，减少MO源对环境的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 本实用新型 换热器 半导体制造领域 机台 尾气回收装置 过滤器机组 机组 氨水回收 回收利用 回收装置 系统运行 有效解决 运行效率 堵塞 | ||
【主权项】：
1.一种MOCVD机台尾气回收装置，包括抽排风机组、过滤器机组、换热器机组、氨水回收系统，所述抽排风机组一端连接于MOCVD反应室的尾气排出口，另一端与过滤器机组连接，过滤器机组、换热器机组和氨水回收系统之间通过管道联通，机台尾气经由抽排风机组、过滤器机组、换热器机组和氨水回收系统处理后排出，其特征在于：所述过滤器机组与所述换热器机组之间设置有一MO源回收装置，所述MO源回收装置包括下部箱体结构和上部盖板组件，上部盖板组件包括密封盖，设置于密封盖上部的尾气进入管和尾气排出管，设置于密封盖下部的间隔排列的滤网。/n
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