[实用新型]承载台及采用该承载台的光刻胶涂布设备有效
| 申请号： | 201920451176.7 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN209496239U | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 王立聪;颜廷彪;叶日铨;黄志凯 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种承载台及采用该承载台的光刻胶涂布设备，其中，清洗系统能够对内壳体的外侧壁及外壳体的内侧壁进行定期清洗，降低承载台的内壳体及外壳体的替换频率，大大提高了光刻胶涂布设备的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 承载台 光刻胶涂布 外壳体 本实用新型 工作效率 清洗系统 内侧壁 内壳体 外侧壁 壳体 清洗 替换 | ||
【主权项】：
1.一种承载台，其特征在于，包括：一外壳体，其顶部具有一沿水平方向突出的凸缘，在所述凸缘内设置有一清洗管路，在所述凸缘的内侧壁具有多个倾斜凹孔，所述倾斜凹孔与所述清洗管路连通；一内壳体，设置在所述外壳体内；一清洗系统，与所述清洗管路连通，所述清洗系统的清洗液能够经所述清洗管路及所述倾斜凹孔喷入所述内壳体与所述外壳体之间，以清洗所述内壳体的外侧壁及所述外壳体的内侧壁。
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