[实用新型]烘烤装置有效
申请号: | 201920476498.7 | 申请日: | 2019-04-09 |
公开(公告)号: | CN209832944U | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 陈亚文;史文 | 申请(专利权)人: | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
主分类号: | B41F23/04 | 分类号: | B41F23/04;B41F23/00 |
代理公司: | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人: | 侯武娇;潘艳丽 |
地址: | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种烘烤装置,包括箱体、加热板、溶剂消除部件和气体驱动部件,箱体具有烘烤腔,加热板、溶剂消除部件和气体驱动部件设于烘烤腔内,加热板用于承载和烘烤基板,溶剂消除部件用于消除基板经烘烤所蒸发的溶剂,气体驱动部件用于驱动烘烤腔内的气体在烘烤腔内循环运动。该烘烤装置在箱体的烘烤腔内设置有溶剂消除部件和气体驱动部件,在一次烘烤工艺完成后,可及时地通过气体驱动部件驱动烘烤腔内的气体运动,从而使气体不断地与溶剂消除部件接触,于是烘烤基板时被加热板所蒸发的溶剂可有效地被溶剂消除部件吸收除去,如此可维持烘烤腔内纯净的氮气氛围,避免反复烘烤造成的溶剂氛围累积以及基板不同功能层之间的溶剂污染。 | ||
搜索关键词: | 烘烤腔 溶剂消除 气体驱动部件 加热板 烘烤基板 烘烤装置 烘烤 溶剂 基板 蒸发 本实用新型 驱动 部件接触 氮气氛围 气体运动 溶剂氛围 溶剂污染 一次烘烤 功能层 内循环 有效地 承载 吸收 | ||
【主权项】:
1.一种烘烤装置,其特征在于,包括箱体、加热板、溶剂消除部件和气体驱动部件,所述箱体具有烘烤腔,所述加热板、所述溶剂消除部件和所述气体驱动部件设于所述烘烤腔内,所述加热板用于承载和烘烤基板,所述溶剂消除部件用于消除所述基板经烘烤所蒸发的溶剂,所述气体驱动部件用于驱动所述烘烤腔内的气体在所述烘烤腔内循环运动。/n
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