[实用新型]双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统有效
| 申请号： | 201920478030.1 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN209836301U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 关刚刚;李少华;赵亚国 | 申请（专利权）人： | 西安西炉特种电炉有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 61214 西安弘理专利事务所 | 代理人： | 王蕊转 |
| 地址： | 710086 陕西省西安市雁塔区西三环和科*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统，包括中空圆柱状的C/C罐，C/C罐的上端设有T形的炉盖，C/C罐的外壁从上至下分别依次同轴套接有水冷套和炉壳，水冷套恰好被卡在炉盖上端面与C/C罐的罐口之间，且水冷套与C/C罐之间填充有密封结构。本实用新型对内外室抽真空不受影响，能够确保内室中的污染气体不会逸入外室。 | ||
| 搜索关键词： | 水冷套 外室 本实用新型 炉盖 化学气相沉积炉 内室 中空圆柱状 从上至下 隔绝系统 密封结构 同轴套接 污染气体 上端 抽真空 上端面 罐口 炉壳 双室 外壁 填充 密封 | ||
【主权项】：
1.一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统，其特征在于，包括中空圆柱状的C/C罐，C/C罐的上端设有T形的炉盖，C/C罐的外壁从上至下分别依次同轴套接有水冷套和炉壳，水冷套恰好被卡在炉盖上端面与C/C罐的罐口之间，且水冷套与C/C罐之间填充有密封结构。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
