[实用新型]阴极狭缝遮挡装置有效
| 申请号： | 201920506762.7 | 申请日： | 2019-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN210001928U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 宋永明 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 苗青盛;魏雪梅 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及PVD镀膜设备技术领域，尤其涉及一种阴极狭缝遮挡装置。该阴极狭缝遮挡装置包括两个挡板、限位装置、以及驱动两个所述挡板进行相对或相向运动的驱动装置，所述限位装置包括两个平行设置的导轨，每个所述挡板分别设有两个滑块，两个所述滑块分别与两个所述导轨对应滑动连接，每个所述挡板分别连接两个所述驱动装置，两个所述驱动装置对应设置于所述挡板两端。本实用新型提供的阴极狭缝遮挡装置，能够对两个挡板之间阴极狭缝的宽度进行调节，从而有效控制膜层厚度及均匀性，提高产品的转化率。 | ||
| 搜索关键词： | 挡板 阴极狭缝 驱动装置 遮挡装置 本实用新型 限位装置 导轨 滑块 设备技术领域 滑动连接 平行设置 相向运动 有效控制 均匀性 膜层 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：包括两个挡板(3)、限位装置、以及驱动两个所述挡板(3)进行相对或相向运动的驱动装置；所述限位装置包括两个平行设置的导轨(4)，每个所述挡板(3)分别设有两个滑块(5)，两个所述滑块(5)分别与两个所述导轨(4)对应滑动连接；每个所述挡板(3)分别连接两个所述驱动装置，两个所述驱动装置对应设置于所述挡板(3)两端。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东泰高科装备科技有限公司，未经东泰高科装备科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920506762.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
