[实用新型]清洗装置有效
| 申请号： | 201920511429.5 | 申请日： | 2019-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN210115294U | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 何勇;周剑 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B3/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 陈金普;周玲 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种清洗装置，包括：成对设置的二流体喷头，水箱和压缩空气装置；二流体喷头的第一入口与水箱的出水口连通，二流体喷头的第二入口用于与压缩空气装置的出气口连通；每对二流体喷头分别位于基板的两侧，且各二流体喷头用于将压缩空气和水的混合物喷射在对应侧经过显影处理后的基板端面周围，清洗基板的两个端面边缘处的薄膜。通过采用本实用新型实施例提供的清洗装置，能够实现对基本边沿剥落的薄膜进行清除，保证面板的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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