[实用新型]一种槽体支撑机构有效
申请号: | 201920514503.9 | 申请日: | 2019-04-16 |
公开(公告)号: | CN209515620U | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 丁旭;罗文滨 | 申请(专利权)人: | 安徽宏实自动化装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 230001 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开一种槽体支撑机构,包括外槽,所述外槽内侧壁上设置有左支撑板与右支撑板,所述外槽内设置有内槽安装外框,贯穿所述内槽安装外框底部设置有内槽,所述内槽安装外框两侧外表面中间位置对称设置有一号衔接板与二号衔接板,所述一号衔接板底端安装有一号支撑块,所述一号支撑块关于内槽安装外框对称位置设置有二号支撑块,所述内槽上连通有至少一组石英管;本实用新型整体结构设计紧密,有效的提高了空间利用率,槽体支撑稳定性极佳,能够有效的防止粉尘污染,能够有效的防止上滑动档板与下滑动挡板侧向滑动,从而确保内槽的稳定性,整个过程简单快捷,便于工作人员操作。 | ||
搜索关键词: | 内槽 外框 衔接板 外槽 本实用新型 支撑机构 种槽 支撑 外表面中间位置 整体结构设计 空间利用率 槽体支撑 侧向滑动 对称设置 对称位置 粉尘污染 滑动挡板 滑动档板 右支撑板 左支撑板 内侧壁 石英管 底端 连通 贯穿 | ||
【主权项】:
1.一种槽体支撑机构,其特征在于,包括外槽(1),所述外槽(1)内侧壁上设置有左支撑板(2)与右支撑板(3),所述外槽(1)内设置有内槽安装外框(4),贯穿所述内槽安装外框(4)底部设置有内槽(5),所述内槽安装外框(4)两侧外表面中间位置对称设置有一号衔接板(6)与二号衔接板(7),所述一号衔接板(6)底端安装有一号支撑块(8),所述一号支撑块(8)关于内槽安装外框(4)对称位置设置有二号支撑块(10),所述内槽(5)上连通有至少一组石英管(11);所述一号衔接板(6)包括垫板(15)、右侧板(14)与左侧板(16),所述左侧板(16)与右侧板(14)分别安装于垫板(15)两端,贯穿所述垫板(15)与一号支撑块(8)之间连接有一号螺栓(9)与二号螺栓(13);所述内槽安装外框(4)底端开设有内槽安装通孔(17),所述内槽安装外框(4)一侧内壁上安装有两组上限位块(18),所述内槽安装外框(4)底部安装有环形挡板(22),环形挡板(22)与内槽安装通孔(17)端口相切,所述内槽安装外框(4)另一侧内壁上安装有两组下限位块(19),所述内槽(5)外侧壁上安装有上滑动挡板(20)与下滑动挡板(21)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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