[实用新型]一种新型直拉硅单晶炉底部加热器有效
申请号: | 201920515100.6 | 申请日: | 2019-04-16 |
公开(公告)号: | CN210438861U | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 高建芳;王建平;梁宇飞;郭志荣;张红霞;白大伟;徐强;王林;高润飞 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型提供一种新型直拉硅单晶炉底部加热器,包括两组对位设置的第一加热部和第二加热部,所述第一加热部与所述第二加热部串联连接且轴对称设置;所述第一加热部包括串联连接的U型体和分设在所述U型体两侧的W型体,所述W型体位于所述第一加热部外缘处,所述U型体与所述W型体共同形成一体式结构;所述第二加热部包括两组串联对称设置阶梯状弯曲体,所述弯曲体横向宽度从靠近所述第一加热部一端到远离所述第一加热部一端递增;两组所述第一加热部与所述第二加热部内缘共同形成一内切椭圆形空隙。本实用新型可使单晶头部间隙氧含量降低,提高硅单晶质量,晶体成晶率提高5%,底部加热器打火率降低到0.1%以下,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 直拉硅单晶炉 底部 加热器 | ||
【主权项】:
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