[实用新型]一种平面蒸发的蒸发源有效
| 申请号： | 201920524937.7 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN209957886U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 徐剑兵;林祥翔 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种平面蒸发的蒸发源，包括加热装置、坩埚和蒸镀板，坩埚的罐口与蒸镀板的底面之间设置有连接导管。先对坩埚内添加蒸镀的材料，继而通过加热装置对坩埚进行加热，使得该材料被加热气化或者升华。蒸镀的气体通过导流板的导流孔进入蒸镀板的空腔内，再通过分散板上的分散孔使得蒸镀的气体均匀分布于蒸镀板的空腔内，继而通过出料口喷出，对基板进行镀膜。因为整个蒸镀板为一个板面同时喷出蒸镀的气体，使得对于外部的基板可以进行均匀的面源蒸镀，提高生产的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 坩埚 加热装置 空腔 喷出 本实用新型 加热气化 连接导管 气体通过 出料口 导流板 导流孔 对基板 分散板 分散孔 蒸发源 板面 底面 镀膜 罐口 基板 面源 加热 蒸发 升华 外部 生产 | ||
【主权项】：
1.一种平面蒸发的蒸发源，其特征在于：包括加热装置、坩埚和蒸镀板；/n所述蒸镀板的内部设置有空腔，所述蒸镀板的顶面设置有多个出料口，所述坩埚的罐口与蒸镀板的底面之间设置有连接导管，所述加热装置设置在坩埚的外侧面上；/n所述空腔设置有分散板，所述分散板上设置有多个分散孔，所述分散板位于多个出料口与蒸镀板的底面之间，所述坩埚的罐内顶部设置有导流板，所述导流板上设置有多个导流孔，所述导流孔与分散板用于分散引导坩埚内蒸发的气体流动。/n
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