[实用新型]一种光刻用真空基片夹具有效
| 申请号： | 201920525407.4 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN209928209U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 闫青芝;曲迪;陈墨;白国人;靳春艳 | 申请（专利权）人： | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 12101 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许爱文 |
| 地址： | 300467 天津市滨海新区生态城*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻用真空基片夹具，涉及半导体制备技术领域，包括一个可与基片紧密贴合的真空载物台；载物台内设有N组真空吸附结构；真空吸附结构在载物台平面上的投影面积小于待吸附基片的面积；真空吸附结构包括沿真空载物台厚度方向设置的M个真空孔，真空孔为通孔；相邻的真空孔之间通过设在真空载物台内部的真空槽相连通；载物台底部设有与真空吸附结构配套的N个真空吸盘；真空吸附结构的底部被对应的真空吸盘覆盖；真空吸盘与载物台相接处密封；每个真空吸盘的根部中心设有一根真空管，N个真空管由设在末端的一个共同的真空总开关控制。该基片夹具不仅便于调整基片位置、且能够一机多用，提高夹具利用率、降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 载物台 真空吸附结构 真空吸盘 真空孔 真空管 基片夹具 夹具 半导体制备 本实用新型 载物台平面 根部中心 基片位置 紧密贴合 一机多用 配套的 相接处 真空槽 总开关 光刻 通孔 吸附 密封 投影 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种光刻用真空基片夹具，其特征在于：包括一个与基片贴合的真空载物台；所述载物台内设有N组真空吸附结构，N为自然数且N≧1；真空吸附结构在载物台平面上的投影面积略小于待吸附基片的面积；/n每组所述真空吸附结构包括沿真空载物台厚度方向设置的M个真空孔，M为自然数且M≧1；所述真空孔为通孔；相邻的真空孔之间通过设在真空载物台内部的真空槽相连通；/n所述载物台底部设有与真空吸附结构配套的N个真空吸盘；真空吸附结构的底部被对应的真空吸盘覆盖；真空吸盘与载物台相接处密封；/n每个所述真空吸盘的根部中心设有一根与真空吸附结构连通的真空管，N个真空管与设在真空管末端的一个共同的真空总开关连接。/n
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