[实用新型]一种全包裹派瑞林镀膜装置有效
| 申请号： | 201920538027.4 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN209873094U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 张卫兴;庄丽叶;张振兴;钱雪冰 | 申请（专利权）人： | 江苏可润光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448;C23C16/458 |
| 代理公司： | 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种全包裹派瑞林镀膜装置，属于化学气相沉积技术领域，包括移动支撑架振动装置及平板镀膜移动支撑架，移动支撑架振动装置包括若干个设置在平板镀膜移动支撑架下方的振动三角块，平板镀膜移动支撑架包括内部开设有若干个滚珠活动空隙的支撑架体及设置在滚珠活动空隙内的滚珠，位于滚珠活动空隙内设有滚珠导轨槽，位于滚珠导轨槽的两侧设有滚珠分离器。本实用新型通过滚珠滚动，实现点接触，滚珠在滚珠活动空隙内滚动，使的待镀膜工件在滚珠上滚动，实现点接触，实现待镀膜工件的全包裹镀膜，保证镀膜工件的全包裹，提高产品可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 滚珠 移动支撑架 活动空隙 平板镀膜 全包裹 本实用新型 待镀膜工件 滚珠导轨 振动装置 点接触 滚动 化学气相沉积 产品可靠性 滚珠分离器 振动三角块 镀膜工件 镀膜装置 支撑架体 派瑞林 镀膜 保证 | ||
【主权项】：
1.一种全包裹派瑞林镀膜装置，其特征在于，包括移动支撑架振动装置(200)及设置在所述移动支撑架振动装置(200)上的平板镀膜移动支撑架(100)，所述移动支撑架振动装置(200)产生振动带动所述平板镀膜移动支撑架(100)使待镀膜工件在所述平板镀膜移动支撑架(100)上移动，实现点接触，所述平板镀膜移动支撑架(100)包括内部开设有若干个滚珠活动空隙(2)的支撑架体及设置在所述滚珠活动空隙(2)内的滚珠(1)，所述移动支撑架振动装置(200)包括若干个设置在所述平板镀膜移动支撑架(100)下方的振动三角块，所述振动三角块下方设有振动滚轮，所述振动滚轮滚动所述平板镀膜移动支撑架(100)振动。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
