[实用新型]低压扩散中空尾排装置

摘要

本实用新型提供了一种低压扩散中空尾排装置，包括管路连通在尾管后的废液收集瓶、曲径冷却瓶、高精过滤器、真空泵和排风口，高精过滤器与真空泵的连接管路之间还设有压力监控模块，尾管外周面还外包有中空石英管，中空石英管外部密封并具有气嘴，气嘴依次管路连通有冷却装置和气动阀，气动阀的进气端与冷却装置管路连通、出气端则与高精过滤器与压力监控模块之间的管路连通；气动阀电路连通有电磁阀和PLC控制器，并由PLC控制器和电磁阀控制开关。本实用新型结构设计合理，在尾管与中空石英管之间制造了中空隔热层，减少尾管与环境之间的热传导，减少偏磷酸淤积在尾管，提高工艺稳定性，维护量小，生产成本低。

主权项

1.一种低压扩散中空尾排装置，安装在低压扩散炉的炉管的尾管(1)端部，其特征在于：包括管路连通在尾管(1)后的废液收集瓶(2)、曲径冷却瓶(3)、高精过滤器(13)、真空泵(5)和排风口(6)，所述的高精过滤器(13)与真空泵(5)的连接管路之间还设有压力监控模块(4)，所述的尾管(1)外周面还外包有中空石英管(7)，所述的中空石英管(7)外部密封并具有气嘴(8)，所述气嘴(8)依次管路连通有冷却装置(9)和气动阀(10)，所述气动阀(10)的进气端与冷却装置(9)管路连通、出气端则与高精过滤器(13)与压力监控模块(4)之间的管路连通；所述的气动阀(10)电路连通有电磁阀(11)和PLC控制器(12)，并由PLC控制器(12)和电磁阀(11)控制开关。