[实用新型]一种数字微流控基板及数字微流控芯片有效
| 申请号： | 201920547711.9 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN210279192U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 庞凤春;蔡佩芝 | 申请（专利权）人： | 北京京东方传感技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技术开*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供了一种数字微流控基板及数字微流控芯片，涉及微流控技术领域。本实用新型实施例通过在第一基板上设置驱动晶体管和驱动电极，且驱动晶体管的漏极和驱动电极同层设置且一体成型。在制作驱动晶体管的漏极时，可同时制作得到与漏极同层设置且一体成型的驱动电极，使得在制作数字微流控基板时，可减少了两次沉积、两次曝光和两次刻蚀工艺以及减少两张掩膜板的使用，使得数字微流控基板的制作工艺更为简单，制作成本大大降低；且无需形成过孔跳线，提高了驱动电极的平坦度，有利于液滴的驱动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 数字 微流控基板 微流控 芯片 | ||
【主权项】：
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