[实用新型]一种光刻机出片的感应装置有效
| 申请号： | 201920552793.6 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN209784730U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 顾军魏;徐林;李晓华;李天鹏;王光伟;叶新民 | 申请（专利权）人： | 江阴新顺微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 11429 北京中济纬天专利代理有限公司 | 代理人： | 赵海波 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光刻机出片的感应装置，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括光刻机本体，光刻机本体上设有输送硅片的过桥板，所述过桥板上方设有电容式传感器，电容式传感器用于感应过桥板上的硅片，所述电容式传感器与信号转换电路的输入端电性连接，电容式传感器将反馈信号传输至信号转换电路，所述信号转换电路的输出端与光刻机本体的信号接收端电性连接。所述电容式传感器与硅片的感应距离为10‑13mm。所述电容式传感器上还与指示灯电性连接。本申请不但大幅降低了维修次数；避免了信号不稳定而导致光刻机误判的情况，大幅提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电容式传感器 光刻机 信号转换电路 电性连接 过桥板 硅片 指示灯 分立器件芯片 本实用新型 信号接收端 反馈信号 感应距离 感应装置 生产效率 输出端 输入端 误判 出片 集成电路 传输 维修 申请 制造 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机出片的感应装置，包括光刻机本体，光刻机本体上设有输送硅片(4)的过桥板，其特征在于：所述过桥板上方设有电容式传感器(1)，电容式传感器(1)用于感应过桥板上的硅片(4)，所述电容式传感器(1)与信号转换电路(2)的输入端电性连接，电容式传感器(1)将反馈信号传输至信号转换电路(2)，所述信号转换电路(2)的输出端与光刻机本体的信号接收端电性连接。/n
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