[实用新型]一种环形靶材循环冷却装置有效
| 申请号： | 201920553924.2 | 申请日： | 2019-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN209816255U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 周磊;窦沛静 | 申请（专利权）人： | 四川艾庞机械科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 51230 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 629000 四川省遂宁*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及PVD真空镀膜技术领域，公开了一种环形靶材循环冷却装置，包括冷却套，冷却套一端设置有靶材座，冷却套上设置有进液口，靶材座设置为凸台结构，冷却套内沿其轴向设置有与进液口连通的冷却管，靶材座内设置有与冷却管密封连通的冷却腔，冷却腔呈环形设置并贴近靶材座凸出部的外圆周面，冷却套内沿其轴向还设置有回流芯轴，回流芯轴呈空心设置，回流芯轴贴近靶材座的一端设置有回流管，回流管与冷却腔连通。本实用新型可实现对环形靶材的快速且均匀冷却的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却套 靶材 冷却腔 芯轴 本实用新型 环形靶材 一端设置 回流管 进液口 冷却管 连通 循环冷却装置 真空镀膜技术 环形设置 均匀冷却 空心设置 密封连通 凸台结构 外圆周面 轴向设置 凸出部 轴向 | ||
【主权项】：
1.一种环形靶材循环冷却装置，包括冷却套(1)，所述冷却套(1)一端设置有靶材座(4)，冷却套(1)上设置有进液口(11)，其特征在于：所述靶材座(4)设置为凸台结构，所述冷却套(1)内沿其轴向设置有与进液口(11)连通的冷却管(10)，所述靶材座(4)内设置有与冷却管(10)密封连通的冷却腔(5)，所述冷却腔(5)呈环形设置并贴近靶材座(4)凸出部的外圆周面，所述冷却套(1)内沿其轴向还设置有回流芯轴(9)，所述回流芯轴(9)呈空心设置，回流芯轴(9)贴近靶材座(4)的一端设置有回流管(6)，所述回流管(6)与冷却腔(5)连通。/n
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