[实用新型]一种用于长晶的坩埚组件有效
申请号: | 201920555510.3 | 申请日: | 2019-04-22 |
公开(公告)号: | CN210262076U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 李加林;张红岩;窦文涛;宗艳民;李斌;高超;刘家朋;李长进;李宏刚;孙元行;刘鹏飞 | 申请(专利权)人: | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36 |
代理公司: | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人: | 吴绍群 |
地址: | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本申请涉及一种用于晶体生长的坩埚组件,属于晶体材料制备领域。该坩埚组件包括:坩埚主体;坩埚盖,所述坩埚盖内侧可设置籽晶;螺旋隔板组件,所述螺旋隔板组件设置在所述坩埚主体内,所述螺旋隔板组件的构造可形成螺旋气流通道。本申请的坩埚组件通过螺旋隔板组件设计,改变传统PVT法制备碳化单晶的气相传输方式,由传统的垂直向上传输转换为螺旋向上传输,实现对晶体生长过程中大颗粒杂质的有效格挡,降低晶体中的缺陷密度,提高晶体质量;并且不会造成气相向上传输困难,无需过高生长温度,降低能耗;本申请可以对真空下的气相传输起到控制作用,真空下的单晶生长速率快、生长温度低,且气相可以有序向上传输,生长的晶体缺陷少,降本增效。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 坩埚 组件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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