[实用新型]一种用于长晶的坩埚组件有效

专利信息
申请号: 201920555510.3 申请日: 2019-04-22
公开(公告)号: CN210262076U 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 李加林;张红岩;窦文涛;宗艳民;李斌;高超;刘家朋;李长进;李宏刚;孙元行;刘鹏飞 申请(专利权)人: 山东天岳先进材料科技有限公司
主分类号: C30B23/00 分类号: C30B23/00;C30B29/36
代理公司: 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 代理人: 吴绍群
地址: 250100 山东省济南市高新区*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请涉及一种用于晶体生长的坩埚组件,属于晶体材料制备领域。该坩埚组件包括:坩埚主体;坩埚盖,所述坩埚盖内侧可设置籽晶;螺旋隔板组件,所述螺旋隔板组件设置在所述坩埚主体内,所述螺旋隔板组件的构造可形成螺旋气流通道。本申请的坩埚组件通过螺旋隔板组件设计,改变传统PVT法制备碳化单晶的气相传输方式,由传统的垂直向上传输转换为螺旋向上传输,实现对晶体生长过程中大颗粒杂质的有效格挡,降低晶体中的缺陷密度,提高晶体质量;并且不会造成气相向上传输困难,无需过高生长温度,降低能耗;本申请可以对真空下的气相传输起到控制作用,真空下的单晶生长速率快、生长温度低,且气相可以有序向上传输,生长的晶体缺陷少,降本增效。
搜索关键词: 一种 用于 坩埚 组件
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东天岳先进材料科技有限公司,未经山东天岳先进材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920555510.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top