[实用新型]一种基板双面定位曝光工装有效
| 申请号： | 201920564181.9 | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN209496240U | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 连大学 | 申请（专利权）人： | 南通卓力达金属科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 尚欣 |
| 地址： | 226000 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及机械加工技术领域，且公开了一种基板双面定位曝光工装，包括下沉台阶，所述下沉台阶的四角设有下沉细棱，所述下沉台阶的顶部活动连接有上沉台阶，所述上沉台阶的四角设有上沉细棱，所述上沉台阶的底端固定连接有连接件，所述连接件通过定位靶标与下沉台阶活动连接，所述上沉台阶位于连接件的上方活动连接对位靶标。该基板双面定位曝光工装，通过设置有定位靶标，定位靶标的设置即可以快速将曝光工装的两端进行整合，使得曝光工装能够快速进行定位，而且这种曝光工装还设置有对位靶标，这种对位靶标能够将该曝光工装与模具进行快速的对位安装，从而不用每次曝光都需要人工手动进行人工定位。 | ||
| 搜索关键词： | 工装 曝光 下沉台阶 对位靶标 双面定位 连接件 基板 活动连接 靶标 机械加工技术 本实用新型 活动连接有 人工定位 人工手动 底端 对位 整合 模具 | ||
【主权项】：
1.一种基板双面定位曝光工装，包括下沉台阶(1)，其特征在于：所述下沉台阶(1)的四角设有下沉细棱(2)，所述下沉台阶(1)的顶部活动连接有上沉台阶(3)，所述上沉台阶(3)的四角设有上沉细棱(4)，所述上沉台阶(3)的底端固定连接有连接件(11)，所述连接件(11)的两端活动连接有定位靶标(5)，所述连接件(11)通过定位靶标(5)与下沉台阶(1)活动连接，所述上沉台阶(3)位于连接件(11)的上方活动连接对位靶标(6)，所述下沉台阶(1)顶部的两侧均开设有靶标孔洞(7)，所述下沉台阶(1)的内部设有基板放置腔(8)，所述下沉台阶(1)的内壁固定连接有缓震装置(9)，所述缓震装置(9)顶部的两侧设有固定卡口(10)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南通卓力达金属科技有限公司，未经南通卓力达金属科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920564181.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：承载台及采用该承载台的光刻胶涂布设备
- 下一篇：一种可快速加粉的打印机硒鼓
