[实用新型]掩膜版修补夹具有效
| 申请号： | 201920564989.7 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN209793180U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;林伟;刘亨荣 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B23Q3/06 | 分类号： | B23Q3/06 |
| 代理公司： | 44320 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄莉 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种掩膜版修补夹具，包括底座和承载架，底座上设置有呈长方体状且用于容纳待修补掩膜版的凹槽，凹槽的内侧壁形成有台阶，承载架的两端位置可调节地组装于凹槽的相对两内侧壁上，承载架的顶面与台阶的顶面相平齐而共同构成对待修补掩膜版进行支撑的支撑平台。本实用新型实施例通过在底座上设置凹槽、台阶与承载架，从而共同构成对待修补掩膜版进行支撑的支撑平台，可以根据待修补掩膜版的大小灵活调整承载架的位置来平稳放置不同尺寸的待修补掩膜版；根据需要将凹槽的两个相邻侧壁确定为基准边，能方便将同为长方形状的待修补掩膜版的相邻两侧边抵靠在两个基准边上来获得精准的定位，有效提高掩膜版修补精度。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 修补 承载架 底座 本实用新型 支撑平台 基准边 内侧壁 夹具 长方体状 长方形状 两端位置 灵活调整 相邻侧壁 可调节 顶面 平齐 支撑 组装 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜版修补夹具，其特征在于：包括底座和承载架，所述底座上设置有呈长方体状且用于容纳待修补掩膜版的凹槽，所述凹槽的内侧壁还形成有台阶，所述承载架的两端位置可调节地组装于所述凹槽的相对两内侧壁上，所述承载架的顶面与所述台阶的顶面相平齐而共同构成对所述待修补掩膜版进行支撑的支撑平台。/n
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