[实用新型]一种真空镀膜机的除杂质冷却系统有效
| 申请号： | 201920576153.9 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN209816271U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 郑潜武 | 申请（专利权）人： | 珠海众睿诚科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 11212 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人： | 谈杰 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市高新区唐家*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的除杂质冷却系统，包括真空腔体、抽气管道以及真空泵，所述抽气管道一端与真空腔体连接、另一端与真空泵连接，所述抽气管道的下端设置有排污管道，排污管道还连接有用于收集污物的存储箱，所述抽气管道内靠近排污管道的位置安装有过滤网，使得进入真空泵的气体没有杂质，延长其使用寿命，所述真空腔体内部设置有冷却管道，该冷却管道从真空腔体底部穿过、延伸至顶部后折回至真空腔体底部并再次穿过真空腔体，冷却管道的两端均连接有蓄液箱，该蓄液箱内部填充有冷却液，能够较好地对真空腔体中的空气，杂质污物以及热离子进行降温，并降低了真空腔体内的温度，防止了温度过高而对产品造成损伤，提高了良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空腔体 抽气管道 冷却管道 排污管道 蓄液箱 真空泵 真空腔 本实用新型 真空泵连接 真空镀膜机 穿过 冷却系统 内部填充 使用寿命 收集污物 温度过高 杂质污物 折回 除杂质 存储箱 过滤网 冷却液 良品率 热离子 体内部 下端 损伤 体内 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机的除杂质冷却系统，包括真空腔体、抽气管道以及真空泵，所述抽气管道一端与真空腔体连接、另一端与真空泵连接，其特征在于：所述抽气管道的下端设置有排污管道，排污管道还连接有用于收集污物的存储箱，所述抽气管道内靠近排污管道的位置安装有过滤网，所述真空腔体内部设置有冷却管道，该冷却管道从真空腔体底部穿过、延伸至顶部后折回至真空腔体底部并再次穿过真空腔体，冷却管道的两端均连接有蓄液箱，该蓄液箱内部填充有冷却液，所述蓄液箱内设置有用于驱动冷却液从蓄液箱至冷却管道循环流动的驱动装置。/n
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