[实用新型]一种硅片加工设备有效

专利信息
申请号: 201920582704.2 申请日: 2019-04-25
公开(公告)号: CN209774203U 公开(公告)日: 2019-12-13
发明(设计)人: 石坚;朱棣;李杰;于友;刘世伟 申请(专利权)人: 山东九思新材料科技有限责任公司
主分类号: B24B7/20 分类号: B24B7/20;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/04;B24B41/00
代理公司: 37249 济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人: 张营磊
地址: 273213 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及硅片生产技术领域,具体是一种硅片加工设备,包括机架,所述机架上安装有作业架,所述机架的底部安装有工作台,所述作业架横向安装有传动螺杆,所述传动螺杆的螺纹段通过螺纹连接安装有传动套,所述传动套的底端安装有固定架,所述固定架上安装有作业机头,所述作业机头内置打磨电机,所述打磨电机的驱动端安装有打磨辊,所述作业架的顶部侧边安装有驱动电机,所述驱动电机的驱动端安装有传动斜齿轮,所述传动螺杆的非螺纹段分别安装有第一从动斜齿轮和第二从动斜齿轮,所述传动斜齿轮分别与第一从动斜齿轮和第二从动斜齿轮呈交替式啮合。本实用新型能够批量性对硅片元件进行打磨作业,同时保证作业的稳定性。
搜索关键词: 从动斜齿轮 传动螺杆 作业架 本实用新型 传动斜齿轮 打磨电机 驱动电机 作业机头 传动套 固定架 驱动端 硅片 啮合 硅片加工设备 侧边安装 非螺纹段 横向安装 螺纹连接 生产技术 打磨辊 交替式 螺纹段 批量性 工作台 底端 内置 打磨 保证
【主权项】:
1.一种硅片加工设备,包括机架(1),所述机架(1)上安装有作业架(2),所述机架(1)的底部安装有工作台(4),所述作业架(2)横向安装有传动螺杆(21),所述传动螺杆(21)的螺纹段通过螺纹连接安装有传动套(26),所述传动套(26)的底端安装有固定架(27),所述固定架(27)上安装有作业机头(28),其特征在于,所述作业机头(28)内置打磨电机(29),所述打磨电机(29)的驱动端安装有打磨辊(31),所述作业架(2)的顶部侧边安装有驱动电机(24),所述驱动电机(24)的驱动端安装有传动斜齿轮(25),所述传动斜齿轮(25)为不完全齿轮并且其齿纹周长为轮盘周长的一半,所述传动螺杆(21)的非螺纹段分别安装有第一从动斜齿轮(22)和第二从动斜齿轮(23),所述传动斜齿轮(25)分别与第一从动斜齿轮(22)和第二从动斜齿轮(23)呈交替式啮合,所述作业架(2)的顶部安装有传动板(14),所述传动板(14)上安装有传动齿条(15),所述机架(1)的顶部安装有传动架(16),所述传动架(16)上安装有传动齿轮(17),所述传动齿条(15)与传动齿轮(17)相啮合。/n
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